打破垄断！中科飞测首台晶圆平坦度测量设备出货HBM客户端 11月24日消息，据媒体报道，据中科飞测公众号发文，中科飞测首台晶圆平坦度测量设备GINKGOIFM-P300已正式出货，交付至HBM（高带宽存储器）领域客户。作为半导体先进制造中的关键工艺控制设备，该设备专为图案化与非图案化晶圆的高精度...
