世界最先进！ASML High-NA EUV光刻机已在Intel投入生产：晶圆生产效率、可靠性翻倍 2月25日消息，Intel宣布，ASML首批两台高数值孔径（High-NA EUV）极紫光刻机已经在其工厂投入生产。初步数据显示，其效率、可靠性比上一代EUV光刻机都有明显提升。Intel资深首席工程师Steve Carson表示，Int...
