不靠EUV光刻机也能生产5nm：3nm也在进行中 6月2日消则，之前我们说过，不用EUV光刻机也能做出5nm。前段时间，世界上就有一种特殊5nm的消息传出。这种5nm采用了完全不一样的技术路线，避开了EUV光刻机的依赖，采用一种步进扫描光刻机，通过多重曝光实现5nm线宽。那没有EUV光...
